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半导体行业专用仪器
MDPspot单点寿命检测仪
MDpicts微波探测光诱导电流瞬态谱仪
MDPmap晶圆片寿命检测仪
MDPlinescan在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测仪
MDPinline ingot晶锭在线面扫检测仪
MDPinline晶圆片在线面扫检测仪
MDPpro晶圆片/晶锭少子寿命检测仪
PIDcheck手提式潜在诱导退化测试仪
PIDcon bifacial台式潜在诱导退化测试仪
X射线仪器
Quatrz XRD石英晶体衍射仪
DDCOM台式晶体定向仪
XRD-OEM在线X射线衍射仪
Omega/Theta X射线衍射仪
SDCOM台式小晶体样品定向仪
其他
lexsyg smart智能型释光仪
lexsyg research科研型释光仪
LEDµSF便携式荧光光谱仪
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产品系列
产品描述
根据SEMI标准PV9-1110的非接触式和无损成像(μPCD / MDP(QSS))、光电导性、电阻率和p/n检查。
晶圆切割,炉内监控,材料优化等。
日常寿命测量,质量控制和检验
**产量:>240块/天或>720片/天
测量速度:对于156x156x400mm标准晶锭,<4分钟
良品率提升:1mm切割标准为156x156x400mm标准晶锭
质量控制:用于过程和材料的质量监控,如单晶硅或多晶硅
沾污检测:起源于坩埚和生产设备的金属(Fe)
可靠性:模块化和坚固耐用的工业仪器,更高可靠性,运行时间> 99%
可重复性:> 99.5%电阻率:可做面扫描,不需经常校准
精密材料研发
铁浓度测定
陷阱浓度测定
硼氧测定依赖于注入的测量等
特性
无接触和无破坏的半导体检测
特殊“underneath the surface”寿命测量技术
对不可见缺陷的可视化测试具有很高灵敏度
自动设置硅錠切割标准
空间分辨p/n电导型变换检测